类型:气体捕集泵 | 品牌:EDWARDS爱德华 | 型号:EPX500NE |
材质:铸铁 | 用途:管道泵 | 原理:真空泵 |
驱动方式:电动 | 极限压力:5pa | 规格:EPX500NE |
EPX500NE 208V 无 TIM 3/8 水接头,PN:A41954012
EPX500NE 400V 无 TIM 3/8 水接头,PN:A41954014
EPX500NE 208V 无 TIM 1/4 水接头,PN:A41954022
EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接头,PN:A41954212
EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接头,PN:A41954224
EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接头,PN:A41954412
EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接头,PN:A41954414
EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接头,PN:A41954424
EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接头,PN:A41954512
EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接头,PN:A41954712
EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接头,PN:A41954714
功能和优势
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX ***节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。
峰值速度 | 500 m3h-1 |
295 ft3min-1 | |
8338 lmin-1 | |
极限真空 | <1 x 10-6 mbar |
<7 x 10-7 Torr | |
<1 x 10-4 Pa | |
预热时间(达到标称性能) | 30 分钟 |
入口法兰 | ISO160 |
出口法兰 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) |
最小冷却水流速 | 2 lmin-1 |
冷却水温度 | 15 – 35°C |
氮气供给接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
氮气供给压力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
***氮纯度 | 99.95% |
电源供给 | 200/208 V,50/60 Hz,3 相 |
极限功率 | 1.4 kW |
电机额定功率 | 3.0 kW |
TIM | 无 |
重量 | 45.2 kg |
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