| 类型：气体捕集泵 | 品牌：英国EDWARDS爱德华 | 型号：STP-iXA3306CV |
| 材质：不锈钢 | 用途：化工泵 | 原理：真空泵 |
| 真空度：高真空度 | 驱动方式：电动 | 性能：自动 |
| 输送介质：气体 | 功率：3306kw | 极限压力：33pa |
| 外形尺寸：30cm | 泵轴位置：边立式 | 抽气速率：3306l/s |
| 抽气量：33 | 最大工作压强：33 | 重量：80kg |
| 电压：220V | 排出口径：50mm | 扬程：33m |
| 流量：2770m3/h | 叶轮数目：多级 | 规格：STP-iXA3306CV |
edwards STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内。
该泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
EDWARDS STP-iXA3306CV分子泵用途：
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
EDWARDS STP-iXA3306CV分子泵特性与优势：
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
英国爱德华EDWARDS STP-iXA3306CV分子泵技术参数：
入口法兰尺寸 | ISO250F / VG250 / ICF305 |
前级抽气口尺寸 | KF40 |
抽速 N2 | 2650 ls-1 |
抽速 Ar | 2300 ls-1 |
压缩比 N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
气流 N2 *（仅水冷） | 4000 sccm |
(6.76 Pam3s-1) | |
气流 Ar *（仅水冷） | 2100 sccm |
(3.55 Pam3s-1) | |
额定速度 | 27700 rpm |
启动时间 | <10 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
输入电压 | 200-240 V |
输入功率（不带 TMS） | 1500 VA |
输入功率（带 TMS） | 1800 VA |
重量 | 80 kg |
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