| 类型：气体捕集泵 | 品牌：英国EDWARDS爱德华 | 型号：iH1000 |
| 材质：铸铁 | 用途：化工泵 | 原理：真空泵 |
| 真空度：粗真空度 | 驱动方式：电动 | 性能：自动 |
| 输送介质：气体 | 功率：1000kw | 极限压力：1000pa |
| 外形尺寸：40cm | 泵轴位置：边立式 | 抽气速率：1000l/s |
| 抽气量：1000 | 最大工作压强：1000 | 重量：430kg |
| 电压：220V | 排出口径：50mm | 扬程：10m |
| 流量：1000m3/h | 叶轮数目：多级 | 规格：iH1000 |
EDWARDS iH1000 干泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59030908
EDWARDS iH1000 干泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59030945
EDWARDS iH1000 干泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59030946
EDWARDS iH1000 干泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59030957
EDWARDS iH1000干泵应用：
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
负载锁
输送
计量
平版印刷
EDWARDS iH1000干泵技术参数：
峰值速度 | 1000 m3h-1 |
589 cfm | |
16670 l min-1 | |
极限真空 | 1 x 10-3 mbar |
7.5 x 10-4 Torr | |
0.1 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO100 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 430 kg |
极限功率输入 | 3.8 kW |
电机额定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.48 l |
苏州赛冬科技
地 址：苏州工业园区斜塘联丰广场商业广场2幢53室
联系人：张小姐
手机：15950048077
销售咨询：sales@turbopumpservices.com
网址：
赛冬科技服务中心
维修咨询：service@turbopumpservices.com
